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Application industry
應用行業
半導體行業

杭州量動自動化設備有限公司是半導體行業加熱器解決方案供應商,致力于滿足客戶定制化需求,半導體加熱器供應商。公司生產的加熱棒、加熱管、加熱器等產品應用于半導體模具加熱、半導體清洗設備、晶圓濕法清洗設備、硅片清洗設備、半導體前端生產氣體加熱等,我司針對半導體行業產品的特殊性,提供技術選型設計,采用穩定可靠的原材料和特殊工藝(電解拋光工藝)使得電加熱產品在半導體行業獲得了客戶的認可和好評,為我國芯片國產化作出了應有的貢獻!


主要用于以下應用:
如您需要產品選擇方面的建議或技術支持,請聯系我們
我們應用于本行業的產品:
  • Φ3.2MM加熱管元件
  • 加熱棒
  • 模具加熱棒
  • 激光硅膠板
    采用激光刻錄(DLE)的工藝設計制作,能夠實現均溫性能±2℃,可用于低溫的表面加熱工藝使用。
  • 蝕刻氣體處理加熱管
    相關腐蝕性尾氣處理場景應用元件,能夠在高溫高腐蝕性能下實現加熱功能,可以實現VOC熱解,氟化物氣體加熱回收等高難度技術工藝。是相關行業核心技術保障。。
  • 氣體流體加熱器
    半導體級或者標準工業級氣體流體加熱器,可用于加熱各類型氣體??蓪崿F即熱式加熱,循環加熱等工藝需求全系列產品配合LD-CS專利熱工控制系統能夠實現更優異的溫度精度及耐受度。是值得選擇的可靠產品。
  • 液體流體加熱器
    半導體級或工業級液體流體加熱器能夠實現各類型液體環境的即熱加熱及循環加熱,適應性極強,能夠實現純水,去離子水,酸液,堿液,油液等各類型介質加熱。 全系列產品配合LD-CS專利熱工控制系統能夠實現更優異的溫度精度及耐受度。是值得選擇的可靠產品。
  • LD-GDC壓鑄型
    采用全新的重力壓鑄(鋁合金)工藝制作,加熱元件與鋁合金基材保持緊密接觸,提供均勻的熱傳遞和更長的整體壽命,有效地利用了鋁合金高導熱性。 兩款均可內嵌溫度傳感器以及冷卻模組。這些壓板還配備了三個 3.2或4.2 毫米(可定制)通孔提升銷孔。我們對這些裝置的標準清潔過程包括深度超聲波清洗,然后是徹底的 IPA 擦拭 工作溫度高達 752°F (400°C),溫度均勻性達到設定點的 ± 0.3%
  • 晶圓加熱板
    半導體級或者標準工業級氣體流體加熱器,可用于加熱各類型氣體??蓪崿F即熱式加熱,循環加熱等工藝需求全系列產品配合LD-CS專利熱工控制系統能夠實現更優異的溫度精度及耐受度。是值得選擇的可靠產品。
  • CAS在晶圓加熱器的研發和制造方面表現突出。功能,如冷卻管和多個加熱區可以合并,允許更短的周期時間和改進的溫度管理。為了方便與控制包的無縫集成,底座加熱器配備了熱電偶或RTD傳感器。擁有CNC過盈匹配IMD技術,重力壓鑄技術,可實現不銹鋼制加熱盤及壓鑄鋁系列加熱盤產品。
  • 使用有限元分析(FEA),包括行業領先的SDP數字化仿真開發工藝,CAS工程師開發熱和結構模型,以評估加熱器和部件的性能原型。
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